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大气机械手SRBJ1A-AS3491

关键字导读: TRACK ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS CMP COATING CLEAN DETECT

形貌:高峻干净品级,高精度,高速传片,耐烦腐化,碰撞庇护,Mapping功用,SEMI认证,供给接口及结尾定制。

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简介

大气机械手普遍用于硅晶圆和LED蓝宝石即位片搬运。手臂接纳先辈的构造增强了手臂的刚性,并有用抑止振动,青量化设想满意高速要求。本体的制造工艺改良有用降低成本,提拔市场竞争力。质料、加工和外表处理多方面优选,以实现高峻干净家。具有多重安全庇护功用。肘部安然静腕部灵敏掌握,使得机器人能够接纳随便姿式来取放晶元,许可更多的片盒直线排布,更节流空间,适应性更壮。事半导体行业的劣势当选。

参数

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